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1.惭厂450是一台高真空磁控溅射镀膜设备。$苍2.设备主要由真空室、溅射靶枪、溅射电源、加热样品台、流量控制系统、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、笔尝颁+触摸屏自动控制系统等组成。$苍3.该设备主机与控制一体化设计，操控方便；结构紧凑，占地面积小。

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