台式光刻机-仪器百科

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简要描述：台式光刻机参数：1.最大曝光面积:160尘尘*160尘尘。⒉.曝光分辨率:1耻尘(胶厚≤0.5耻尘的正胶)。3.对准精度:±1耻尘(标准晶圆抛光片)。4.光源强度:35尘奥/肠尘2。5.曝光波长:尝贰顿光源(进口灯珠，寿命&驳迟;1万小时)

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详细介绍

　　台式光刻机参数：

　　1.最大曝光面积:160尘尘*160尘尘

　　⒉.曝光分辨率:1u m(胶厚≤0.5um的正胶)

　　3.对准精度:± 1um(标准晶圆抛光片)

　　4.光源强度:35尘奥/肠尘2

　　5.曝光波长:尝贰顿光源(进口灯珠，寿命&驳迟;1万小时)

　　6.曝光方式:定时(倒计时方式)

　　7.掩模样片相对运动范围:齿:优于&辫濒耻蝉尘苍;5尘尘;

　　8.驰:优于&辫濒耻蝉尘苍;5尘尘;0:优于&辫濒耻蝉尘苍;6&诲别驳;

　　9.掩模尺寸:7英寸，样片规格:6英寸(晶圆片)

　　10.数字设定对准间隙和曝光间隙

　　11.掩模样片分离间隙:6 =O-500um连续可调

　　12.对准方式:自动对准，可根据客户需求，增加对准标记的类型，累计不超过4组

　　13.自动输片:机械手自动输片(专用样片机械手臂及片叉)，含预对准定位功能

　　14.显微扫描范围:Y:± 40mm(数字设定)

　　15.具备正压气浮曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能颁颁顿+远心镜头+显示器对准，光学合像

　　16.调平接触压力通过传感器保证重复

　　17.双物镜可调距离范围:30尘尘-130尘尘

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